精密高频氧化铝陶瓷板厂家推荐-东莞地区优良氧化铝陶瓷板供应商
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:15
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-05-03
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砾石实业在注重产品质量和企业信誉的同时,不断引进可靠技术人才和现代化经营管理模式,严格控制氧化铝陶瓷板质量,以精巧的产品生产工艺、完善的售后服务呈现于广大工业陶瓷使用人群。作为氧化铝陶瓷板的一贯销售方式,主要是通过批发;厂家;网上销售的方式售给全国客户群众,并支持陆运等物流方式。
东莞市砾石实业投资有限公司是一家整合氧化铝陶瓷板设计、生产、销售、售后于一体的可靠公司,砾石实业致力于向工业陶瓷使用人群提供包含好的应用方案设计,好的绝缘材料产品,经过多年的开拓和发展,供应的氧化铝陶瓷板受到全国的广大用户的一致好评。公司产品齐全,价格合理,质量过关,是诸多消费者的理想选择。
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靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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