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东莞市砾石实业投资有限公司于2009-08-05在东莞市成立，是可靠从事氧化锆陶瓷轴等产品的进出口贸易的绝缘材料行业产品，为了更有效、快速的服务客户，砾石实业正逐步完善销售服务网络，在全国各地紧锣密鼓的设立服务站，力争使客户与砾石实业获得突出效益。

砾石实业至创建以来，始终坚持以“团结、创新、共铸未来 ”的经营理念为准则，多年来一直本着“专注如一”的态度推广氧化锆陶瓷轴，并推广至欧美，在本地及全国均有广阔的市场覆盖率。长期以来东莞市砾石实业投资有限公司凭借着强大的实力，有效的生产管理，高性价比的产品及完善的售后服务体系，目前已发展成为国内主要的纯贸易业之一。

多年来砾石实业一直致力于绝缘材料行业中，拥有力量强大的客服部和销售队伍，在同行业中位居前列，在全国取得了不错的成绩。公司成立以来，始终坚持氧化锆陶瓷轴的高质量、高标准、严要求，为企业生存的核心竞争力，而且公司注重人才的开发与培养，因此能为工业陶瓷使用人群始终如一地提供良好的服务。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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