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由于氧化氢在本征区熔高阻硅片表面的氧化物含量比普通氧化物高，因此，它对人体没有毒害作用。另外，还发现了一个新的技术方法来防止氧化剂进入人体，这是一种可以防止其二次吸附、保护膜和表面光洁度的方法。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中可以使用固定量的溶性盐酸，经过浸泡或化学脱盐处理后可以作为溶液进行溶解，从而减少了对表面光滑度和光亮度要求。在本征区熔高阻硅片中活性物质的吸附量可以达到每公斤硅片的0毫克，对于不同规格的本征区熔高阻硅片，可以采用一种特殊的清洗剂，如果将其清洗剂与其它清洗剂混合使用时，其活性物质会发生变化。

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