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参数： 仪器尺寸：主机300mm×360mm×380mm（W×D×H） 蒸镀 300mm×360mm×160mm（W×D×H） 真空样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H） 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H） 溅射靶材：Au 溅射靶材大小：φ50mm 样品台：样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，样品台可调节高度。也可根据自身要求定制样品台 溅射工作电压：0-1600V (DC)可调 溅射电流：0-50mA 溅射定时：0-360S 蒸碳电流0-100A(AC) 蒸发材料：碳纤维 蒸发工作电压：0-30V 蒸发时间：0-1S微型真空气阀：可连接φ3mm软管 可通入气体：多种 输入电压：220V(可做110V),50HZ 真空泵：2升机械旋转泵（国产VRD-8）