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腔体尺寸 石英玻璃，直径150mm*高度130mm 供电规格 AC220V,200W 溅射电压 MAX 2500V 溅射电流 MAX 30mA 靶材尺寸 直径57mm,厚度0.1~0.5mm 适用靶材 贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 样品台可调高度 20-50mm 样品台尺寸 直径55mm 工作真空度 1~20Pa 气体路数 单路 补气流量 手动调节 控制 触屏控制 真空泵 VRD-8 腔体尺寸 石英玻璃，直径150mm*高度130mm 供电规格 AC220V,200W 溅射电压 MAX 2500V 溅射电流 MAX 30mA 靶材尺寸 直径57mm,厚度0.1~0.5mm 适用靶材 贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 样品台可调高度 20-50mm 样品台尺寸 直径55mm 工作真空度 1~20Pa 气体路数 单路 补气流量 手动调节 控制 触屏控制 真空泵 VRD-8