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小径晶圆用_3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂 小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点：  超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂SSCR3090S系列 适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸， 有利于实现设备的小型化 机械手臂标准臂长：90mm 同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂 全轴使用2相步进电机 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指 小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数： 使用环境                        洁净间内的大气环境 手臂                              单臂 到达距离                        175mm (手臂第3关节中心到达距离) 升降轴MAX行程              150mm 可搬运质量                     0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm 小径晶圆用_3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂相关产品： 衡鹏供应 防水式/真空3轴晶圆搬运机械臂 带翻转机构的/防水式/水平多关节型4晶圆搬运机械手臂 水平多关节型/真空5轴晶圆搬运机械手