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合肥真萍电子科技有限公司是主要对石墨盘专用真空烤盘炉进行开发、生产、销售的企业，生产技术力量雄厚、制造工艺水平，质量监督体系完善。自公司2010-04-14以来，已在电热设备领域占据主要地位，用户反馈良好。持续创新是企业生存和发展的源泉和动力，我司会再接再厉，生产更适合用户需求、适应市场发展的产品。

南汇石墨盘专用真空烤盘炉，.产品介绍 真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。 二、设计特点 1、后门设计热风电机 2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向 3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的 三、技术指标 1、使用温度：1450℃；最高温度：1500℃； 2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸； 4、加热元件：石墨加热棒； 5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温； 6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能； 7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）； 8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%； 9、真空: 10-3torr级； 10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr 11、升温功率：170kW； 12、升温速率：15℃/min（空载）； 13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟 14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） *技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。

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