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质量好的全自动高温炉管，规格： ►晶圆尺寸:200mm,300mm ►一个腔体->晶圆数量:8”:75片,12”:50片 ►工作温度范围:150℃~400℃ ►5AxisWTR 设备： 尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500 晶圆： 尺寸：12”，数量：12”->50 配置： 装/卸量：12”->2盒 WTR（移动范围） ：X,Y,θ,ZAxis(沿X轴移动，绕Y轴移动并旋转。） 机械手臂 ：可选项1个手臂2个手 工艺空间 ：加热腔 滤网：高效过滤器 升降机器人 ：晶舟升/降 晶圆缓存区 ：侧面缓存 电离期：硅芯盒装 工艺参数： 工艺温度：150~400℃(±4℃) 温度均匀度：±3℃ 氧含量：≤20PPM *技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。

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