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实用的全自动高温炉管，规格： ► 晶圆尺寸 : 200mm, 300mm ► 一个腔体 -> 晶圆数量 : 8”: 75 片, 12”: 50 片 ► 工作温度范围 : 150℃ ~400℃ ► 5 Axis WTR 设备： 尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500 晶圆： 尺寸：12” ，数量：12” -> 50 配置： 装/卸量：12” -> 2盒 WTR（移动范围） ：X, Y, θ, Z Axis (沿X轴移动，绕Y轴移动并旋转。） 机械手臂 ：可选项1个手臂2个手 工艺空间 ：加热腔 滤网：高效过滤器 升降机器人 ：晶舟升/降 晶圆缓存区 ：侧面缓存 电离期：硅芯盒装 工艺参数： 工艺温度：150~400℃(±4℃) 温度均匀度：±3℃ 氧含量：≤20 PPM *技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。

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