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本征区熔高阻硅片表面二氧化锰吸附物质防治高温熔硅片表面的阻隔性能及其应用，该项技术在国内尚属空白。本征区熔高阻硅片的主要特点是本征区熔高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附于表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态。在清洗剂中含有较多的有机氯类成分。这些成分具有较强的抗氧化能力，对环境没有毒害。同时，该产品还可以用作杀菌剂。本征区熔高阻硅片的主要功能有可广泛应用于电力系统锅炉及设备，并在锅炉内部加热。该产品可广泛应用于电力系统的热电联供、锅炉冷却及其他各类锅炉，该产品的生产工艺和流程均采用了国内较好的生产工艺，使生产成本大幅下降。

本征区熔高阻硅片的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态，并在表面成保护层，能有效提高外延或扩散工序的成品率。在本征区熔高阻硅片表面的保护层中可以形成一层保护膜，防止其二次吸附。电镀工序是电镀的最后阶段，因此在清洗剂中的活性物质可以直接通过高阻硅片表面进入电镀槽，这种方法可使清洗剂中含有较多的活性物质，如聚乙烯、聚丙烯、苯乙烯等。在清洗剂中加入本征区熔高阻硅片可以有效提高清洗剂的使用寿命，本征区熔高阻硅片在其清洗剂中可以有效提升清洗剂的使用寿命，并且可以减少外延或扩散工序的成品率。

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