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高纯气体的应用领域广泛，在汽车、电子、电力工业等领域中，高纯气体的应用范围较为宽泛。高纯氮是一种可再生的氮化物，高纯氮在汽车中广泛使用。目前，在世界上已经有一些发展较快的新型氮化物。其主要特点为低成本、低污染和低排放。高纯气体的使用，主要是通过对气相沉积和氧化反应产生高纯度的氮，这些氮可用于发电、热电厂和汽车制造等。在我国，由于发电成本较高，所以一直没有形成产业规模。但是，在近年来我国发电量的增长中，高纯气体的使用率也逐年提高。
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