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高纯气体中的氮化物和氧化氢在半导体工业中可以进行分离，从而提高了半导体产品性能、增加了附加值。高纯氮是一种稀有元素，具有较强抗污染能力。对于电子工业来说，高纯氮就显得更为重要。在运输、加工、储存、使用过程中都可以产生较好的效果。高纯气体的应用领域广泛，包括航空、航天、电子工业，化学工业等。在我国大力推进节能减排工作之际，高纯氢气作为替代燃料正被越来越多企事业单位使用。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，高纯氮，氢可作为运载气和保护气。