甘肃利翔氢能特种气体科技有限公司带你了解兰州高纯气体加工相关信息,高纯气体的配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是保证高纯气体安全稳定地输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。在半导体工业中,高纯气体是一种非常有效的气体,其应用范围广泛。例如在电子、航天、核能等领域中,高纯气体可作为电子和核反应堆的底部保护气;在汽车和工程机械领域,高纯氮可作为车内燃料。而在电子、航天、核能等领域中,高纯气体可作为电子与核能的底部保护气。
在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使高纯气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。高纯气体配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
高纯气体系统对于不同特性的气体,应规划独立的供应区域。一般分为三个区腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置于毒性/腐蚀性气体区。高纯气体的安全阀是启闭件受外力作用下处于常闭状态,当设备或管道内的介质压力升高超过规定值时,通过向系统外排放介质来防止管道或设备内介质压力超过规定数值的特殊阀门。安全阀属于自动阀类,主要用于锅炉、压力容器和管道上,控制压力不超过规定值,对人身安全和设备运行起重要保护作用,注安全阀必须经过压力试验才能使用。
高纯气体气瓶间布局要求1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体,按规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板,其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀,可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上,面板应设计的紧凑而合理,以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成,并且牢固的固定在可靠的位置上,确保其安全性。