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因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，以实际成交合同为准。 HVA 3位真空闸阀 21700 系列 上海伯东 HVA 3位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业. HVA 3位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时, 提供异常压力控制功能, 该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡. HVA 3位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式: 一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启, 另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置. 21700 系列3位真空闸阀广泛应用于低温泵, 涡轮分子泵, 及其他对清洁度要求高, 低除气的高真空行业. HVA 3位真空闸阀 21700 系列产品特点 1. 机械预设, 遥控过渡阀位 2. 三个位置都有指示器 3. 标准或者定制法兰 4. 至少一百万使用周期 5. 任意位置安装 HVA 3位真空闸阀 21700 系列技术参数： 阀门材质： 阀门主体 304不锈钢 焊接波纹管轴封 AM-350 驱动轴和驱动销 硬质不绣钢 阀门密封方式： 高真空 氟橡胶 漏率 <2×10-9 mbar l/s 差压关闭 1 bar 真空： 压力范围 高真空1x10-9 mbar 漏率 < 2x10-9  mbar l/S 差压关闭 1 bar (任意位置) 开启前 压力 ≤ 30 mbar 烘烤温度（不含电磁阀）： 阀门主体 150 °c 驱动方式 气动 60 °c 使用寿命：100,000启闭次数 公称通径：DN100-320 mm 美国 HVA 真空阀门-美国 真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门，超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区 指定总代理商。 上海伯东版权所有，翻拷必究！ 若您需要进一步的了解 HVA 插板阀详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士，分机134