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可编程多轴控制器

实现纳米级控制的控制器

CK3M

应用领域

机床/冲压机

使用放电加工机、水刀切割、激光加工机、研磨机、精密冲压机等，实现高速且超高精度的加工

半导体、FPD制造/检查装置

实现了曝光装置、线性编码器、点胶机、晶片检查装置等的超精密动作

机器人

通过具备客户独有的机器人机构的装置，实现特殊的机械机构的控制

产品特点

精密机械机构示例

需要同步控制的多轴机构

由高分辨率的电机和编码器构成的超精密工作台

由多个直线电机和标尺构成的龙门架机构

客户独有的机器人机构

需要同步控制的多轴机构

由高分辨率的电机和编码器构成的

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