日本azbil山武CMS气体质量流量计
　　品牌：AZBIL/山武(成立于1906年)
　　型号：CMS系列
　　类型：气体质量流量计
　　测量范围：2ML-2000L/MIN（可选）
　　精度等级：±2%RD
　　适用介质：空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/氨气/二氧化碳/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷/乙炔（不含腐蚀性成分）
　　耐压：
　　工作温度：-10~+60℃

　　山武CMS是一种气体质量流量计，使用了山武公司研发的微流量传感器μF单元。这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量低流速的流体流量，使CMS具有100:1的测量比。微流量传感器芯片与先近的流体管路设计的结合，使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。
　　特点：
　　1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的准确测量；
　　2：实现了±2%RD的精度， %FS的重复性、100:1的高量程能力；
　　3：CMS具有瞬时、累计流量显示、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能；
　　4：采用山武公司的管内壁测量方式，实现了500PA（CMS200一次压力49KPA）的低压力损失。
山武CMS气体质量流量计型号一览  
CMS0002BSRN20010C CMS0002BSRS20010C
CMS0002BTSE21010C
CMS0002BTSN21010C CMS0002BTSS21010C
CMS0002BTTE21010C
CMS0002BTTN21010C CMS0002BTTS21010C
CMS0002BTUE21010C
CMS0002BTUN21010C CMS0002BTUS21010C
CMS0002BTVE21010C
CMS0002BTVN21010C CMS0002BTVS21010C
CMS0002RSRN20010C
CMS0002RSRS20010C CMS0002RTSE21010C CMS0002RTSN21010C
CMS0002RTSS21010C CMS0002RTTE21010C
CMS0002RTTN21010C
CMS0002RTTS21010C CMS0002RTUE21010C
CMS0002RTUN21010C