椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种具吸引力的测量设备。


基本原理：
椭圆偏光法涉及椭圆偏振光在材料表面的反射。为表征反射光的特性，可分成两个分量：P和S偏振态，P分量是指平行于入射面的线性偏振光，S分量是指垂直于入射面的线性偏振光。菲涅耳反射系数r描述了在一个界面入射光线的反射。P和S偏振态分量各自的菲涅耳反射系数r是各自的反射波振幅与入射波振幅的比值。大多情况下会有多个界面，回到Z初入射媒介的光经过了多次反射和透射。总的反射系数Rp和Rs，由每个界面的菲涅耳反射系数决定。Rp和Rs定义为Z终的反射波振幅与入射波振幅的比值。


椭圆偏振仪所需的组件包括：
1、把非偏振光转化为线性偏振光的光学系统；
2、把线性偏振光转化为椭圆偏振光的光学系统；
3、样品反射；
4、测量反射光偏振特性的光学系统；
5、测量光强度的探测器；
6、根据假设模型计算结果的计算机。


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