苏州伟志水处理设备有限公司
主营产品:水处理设备,反渗透设备,纯水设备,软化设备,离子交换设备,超纯水设备,超滤设备,泳池设备,河水过滤设备等
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多晶硅超纯水/多晶硅用超纯水/超纯水设备
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产品介绍
 硅材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用多的一种半导体材料,目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。现在,我们的生活中处处可见“硅”的身影和作用,晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化较快的。


    多晶硅片,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态, 有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。


    有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属 金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠 等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。所以清洗多晶硅、半导体、太阳能光伏电池板用超纯水,目前制取超纯水工艺可分为反渗透+混床超纯水设备,二是反渗透+EDI超纯水设备,这是两种制取超纯水设备常用的工艺。




处理工艺:
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩCM)(传统工艺)
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-02或05Hm精密过滤器-用水对象(≥18MΩCM)
预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗遗(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀南器-02或 精密过滤器-用水对象(>17MΩCM)
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器- 或 精密过滤器-用水对象(≥15MΩCM)
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀药器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)