说到真空泵在进行拆卸时候的步骤要求，来讲，也就是要注意去切断电源，只会再拔下电源插头。之后就此泵若是在系统上面，这时候也就是要注意从设备上取下来；真空泵拆卸的时候，也应该要注意拧放油螺栓放油，之后也就是要注意用手盘动皮带轮，使得泵腔内余油全部放出。
真空泵在进行拆卸时，就其油也就应该收集好，一般是在机械泵底板之下也就是要注意放一铁制油盘或者是磁盘等(通称方盘)收集，以便于今后蒸馏回收和免于污染环境。之后也就是要注意去拆下皮带，卸下皮带轮、键，脱开底板，视电机好坏程度(如发热、过脏、有干磨的噪音，振动较大等)应该予以修理或者是送电工洗油修理。
先拆一下真空泵上的低真空端盖板(后端盖板，即远离泵轮的一端)，拆卸的时候应该要注意根据不同螺钉使用不同的工具。对于一般六角螺钉也就是要注意用呆扳手，内六角螺钉也要用内六角扳手，必要的时候也就应该使用套筒扳手，这样一来也就不会出现损坏螺钉的现象。
拧开端盖板螺钉之后，轻启端盖板。端盖板若是密合得很紧，这时候也就是要注意慢慢设法起开。举个例子来讲，也就是要注意用锉刀在泵腔和端盖板合缝地方锉一小槽，之后也就应该用起子(改锥)插于小槽处用手敲起子把手，亦可用小锤轻敲起子以退出端盖板，切不可重锤敲打。
真空泵全拆修也就会被叫做大修，对于采取了局部拆修措施而没有能够排除故障的一些真空泵，就其真空度比较低，仍有渗漏等现象；或者有些真空泵上出现“卡死’现象，油很脏并且就其真空泵当中已经结了垢，生了锈或者是用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳的时候要注意进行清理和拆卸。
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