苏州工业园区浩高电子科技有限公司
主营产品:老化测试,无损检测,X-Ray,超声波焊线机,LED芯片测试
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步进投影光刻机 BSR1755i7B
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产品介绍

把掩膜版上的图形按照一定的比例缩小复制到涂布有光刻胶的晶圆上,分区域进行步进式曝光。本机台可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光,曝光精度可达500nm。

 

技术指标:

RESOLUTION:0.5μm

LENSDISTORTION:≤0.9μm

RETICLEALIGNMENT ACCURACY:≤0.02μm

STEPPINGACCURACY:≤0.08μm

OVERLAYACCURACY:≤0.15μm(X,Y)

OPEN FLAME(MAX.EXPOSURE AREA):17.5×17.5mm