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镀膜设备厂家|物超所值的直流磁控濺射镀膜设备供应， 肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司自2012-07-23成立以来，专注于为中小企业提供好的直流磁控濺射镀膜设备。公司及时跟进潮流动态，立足新起点，开创新局面。拥有成熟的生产加工设备以及可靠的包装生产流水线，新产品开发周期短、能力强，精度高，制造工艺成熟。欢迎广大中小企业前来合作。

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平衡态磁控阴极内外磁钢的磁通量大致相等，两极磁力线闭合于靶面，很好地将电子/等离子体约束在靶面附近，增加碰撞几率，提高了离化效率，因而在较低的工作气压和电压下就能起辉并维持辉光放电，靶材利用率相对较高，但由于电子沿磁力线运动主要闭合于靶面，基片区域所受离子轰击较小.非平衡磁控溅射技术概念，即让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极，两极磁力线在靶面不完全闭合，部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域，从而部分电子可以沿着磁力线扩展到基片，增加基片区域的等离子体密度和气体电离率.不管平衡非平衡，若磁铁静止，其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率，可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构，同时溅射速率要减小。

旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备，多用磁场静止靶源。用磁控靶源溅射金属和合金很容易，点火和溅射很方便。这是因为靶（阴极），等离子体，和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，因而难大规模采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，加入氩气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易，而实际操作困难。

主要问题是反应不光发生在零件表面，也发生在阳极，真空腔体表面，以及靶源表面。从而引起灭火，靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术，很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极，从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是源（磁控，多弧，离子）所必需，因为能量很大一部分转为热量，若无冷却或冷却不足，这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。

恒誉真空技术力量雄量，制造设备精良，检验手段成熟，现已发展成为集设备研发、生产制造、销售服务于一体的高新技术企业。恒誉真空依靠高素质的员工，健全的工艺设备，完整的质量管理体系，产品售出后质保一年的售后服务，不断开拓创新，为广大中小企业提供可靠的直流磁控濺射镀膜设备。

恒誉真空经过多年的经营发展，公司已经拥有一支颇具水准的经营团队。生产的直流磁控濺射镀膜设备主要用于通过磁控溅射的方法能在工件表面镀制各种金属，或其化合物膜层，以达到改变其光电磁性能或起到装饰性功效，主要服务于广东肇庆地区。我们始终坚持“用心制造，诚信合作，品质经营”的营业理念，为广大中小企业供应优异的产品，同时提高售后服务质量，提升客户满意程度。

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