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本征区熔高阻硅片具有很好的阻隔性和吸附性能，该项目的成功实施为熔高阻硅片的生产、应用提供了新的技术支持。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态，能有效提高外延或扩散工序的成品率。本征区熔高阻硅片中有效成品率为90%～90%。其中，有机硅片的活性物质吸附率高，达9%；而无机硅片的活性物质吸附率仅为8～5%。由此可见，本征区熔高阻硅片在清洗剂中的活性物质含量不仅与其他类似产品相比低得多，还具备较好的抗氧化能力。

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