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台达伺服电机 1定义 台达伺服电机，又名，台达伺服马达，是将电信号转换成转轴的角位移或角速度的补助马达间接变速装置，是可以连续旋转的电——机械转换器，是在自动化控制系统中控制机械元件运转的微特电机（又名：执行电机）。 它是由台湾台达独立研发、生产和销售。 2特点 4.1、运行稳定； 4.2、可控性好； 4.3、响应快速； 4.4、灵敏度高； 4.5、机械特性和调节特性的非线性度指标严格（要求分别小于10%～15%和小于15%～25%）等特点； 3优势 伺服电机有交流伺服电机和直流伺服电机两种，台达伺服电机属于交流伺服电机，与直流伺服电机比较，主要优势如下： 5.1、无电刷和换向器，因此工作可靠，对维护和保养要求低； 5.2、定子绕组散热比较方便； 5.3、惯量小，易于提高系统的快速性； 5.4、适应于高速大力矩工作状态； 5.5、同功率下有较小的体积和重量。 4功能 台达伺服电机的功能，是地控制自动化控制系统中机械元件速度、扭矩，准确地控制机械元件的位置。 5工作原理 台达伺服电机的工作原理与交流感应电动机相同：在定子上有两个相空间未移90°电角度的励磁绕组wf和控制绕组wcowf接一恒定交流电压，利用施加到wc上的交流电压或相位的变化，达到控制电机运行的目的。 6应用案列 随着世界能源供应的日趋紧张，可再生能源光伏产品发展迅猛，据行业统计2005年全国太阳能电池产能为300mw，到2007年已发展到1000mw，到2010年我国太阳能电池/组件产能将达到5000mw以上，显示出对单晶和多晶硅有很大的市场需求，比原来的市场预期提前了10年以上，也预示出单晶硅炉的市场需求将成倍增长。单晶硅炉是半导体材料直拉法晶体专用设备，其硅单晶棒料经切割等后续工艺处理成芯片被制作为二极管.太阳能电池.集成电路等半导体材料的主要器件。近几年来由于能源危机及地球环境改善带来对新能源，可再生能源的巨大需求，光伏产业出现的增长，半导体硅材料的生产又进入新的发展期，因此大力加速发展可再生能源硅光伏产业及共基础材料---高纯半导体硅（单晶.多芯片）材料已成为当务之急，而硅材料的生长离不开单晶硅炉和多晶硅炉的设备支持。 二、单晶硅炉的工艺流程简介、技术需求及方案的分析 2-1、单晶硅炉的工艺流程简介 单晶硅炉炉的组成组件可分成四部分 （1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热及绝热组件，炉壁 （2）晶棒及坩埚拉升旋转机构：包括籽晶夹头，吊线及拉升旋转组件 （3）气氛压力控制：包括气体流量控制，真空系统及压力控制阀 （4）控制系统：包括侦测感应器及电脑控制系统